適用于半導體制造的凈室機器人解決方案

適用于半導體制造的凈室機器人解決方案

電子工業(yè)半導體制造中的自動化適用于半導體制造的凈室機器人解決方案適用于凈室的 KUKA 技術和機器人符合半導體生產(chǎn)中對于純凈、清潔和功能的高要求。它們即便在非常短的周期時間內(nèi)也能兼具高移動性與高精確度。

為半導體行業(yè)的嚴苛要求而設計：凈室與安全性在 KUKA 極受重視。

針對凈室，KUKA 專門提供了微粒少和排放低的機器人、協(xié)作機器人和平臺，用于生產(chǎn)和安全地搬運高敏感的微電子元件。我們自己的生產(chǎn)也要在嚴苛的凈室條件下完成。

KUKA 與系統(tǒng)合作伙伴一起，為半導體行業(yè)提供面向未來的工業(yè) 4.0 解決方案，通過協(xié)調(diào)軟件和硬件滿足聯(lián)網(wǎng)與生產(chǎn)靈活性的要求。

全面投入到凈室：KUKA 半導體機器人和移動協(xié)作機器人。

精準而敏捷的機器人符合高凈室等級：經(jīng)弗勞恩霍夫研究所特別認證更為安全。

發(fā)現(xiàn)適合您的任務的符合凈室要求的運動系統(tǒng)：

LBR iiwa CR（負載能力7-14kg，協(xié)作機器人）

靈敏的 LBR iiwa 因其位置和柔韌性調(diào)節(jié)裝置而特別適合搬運敏感的基板。

• 安全等級 3（證書）

• 作用范圍：800 - 820 mm

• ISO 3 級

• 7 軸

• 控制系統(tǒng) KUKA Sunrise Cabinet

高凈度環(huán)境下的 KUKA LBR iiwa

KMR iiwa CR(負載能力 7-14 kg 機器人，負載能力 170 kg 平臺，移動協(xié)作機器人)

KMR iiwa 適于裝載工藝設備，且無需采取結構措施。

• 自主導航

• 全向

• 內(nèi)置半標

• 準車隊管理系統(tǒng)

• 可自由擴展的模塊化系統(tǒng)

• 證書 (PDF)

  
  

不受地點限制、高度靈活的 KMR iiwa 為滿足工業(yè) 4.0 的要求創(chuàng)造了理想條件。

KR AGILUS CR(負載能力 6-10 kg)

凈室規(guī)格的 KR AGILUS 極其迅速且精確，是適合多種應用的“專家”，例如用于標線或晶片測試。

• 作用范圍：706.7 - 1101 mm

• ISO 2 級

• 集成式拖鏈系統(tǒng)

• 專用的小型機器人控制器 KR C5 micro

• 證書 (PDF)

KR CYBERTECH CR(負載能力 20 kg) KR 20 R1810 CR

KR CYBERTECH 的鎮(zhèn)定而精細的行駛特性注定其就是為搬運半導體設備而生

• 作用范圍： 1810 mm

• ISO 等級： 5

• 修長的設計——節(jié)省空間的工作單元設計機器人

• 控制器 KR C5

• 證書 (PDF)