適用于半導(dǎo)體制造的凈室機(jī)器人解決方案

適用于半導(dǎo)體制造的凈室機(jī)器人解決方案

電子工業(yè)半導(dǎo)體制造中的自動(dòng)化適用于半導(dǎo)體制造的凈室機(jī)器人解決方案適用于凈室的 KUKA 技術(shù)和機(jī)器人符合半導(dǎo)體生產(chǎn)中對于純凈、清潔和功能的高要求。它們即便在非常短的周期時(shí)間內(nèi)也能兼具高移動(dòng)性與高精確度。

為半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)苛要求而設(shè)計(jì)：凈室與安全性在 KUKA 極受重視。

針對凈室，KUKA 專門提供了微粒少和排放低的機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人和平臺(tái)，用于生產(chǎn)和安全地搬運(yùn)高敏感的微電子元件。我們自己的生產(chǎn)也要在嚴(yán)苛的凈室條件下完成。

KUKA 與系統(tǒng)合作伙伴一起，為半導(dǎo)體行業(yè)提供面向未來的工業(yè) 4.0 解決方案，通過協(xié)調(diào)軟件和硬件滿足聯(lián)網(wǎng)與生產(chǎn)靈活性的要求。

全面投入到凈室：KUKA 半導(dǎo)體機(jī)器人和移動(dòng)協(xié)作機(jī)器人。

精準(zhǔn)而敏捷的機(jī)器人符合高凈室等級：經(jīng)弗勞恩霍夫研究所特別認(rèn)證更為安全。

發(fā)現(xiàn)適合您的任務(wù)的符合凈室要求的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：

LBR iiwa CR（負(fù)載能力7-14kg，協(xié)作機(jī)器人）

靈敏的 LBR iiwa 因其位置和柔韌性調(diào)節(jié)裝置而特別適合搬運(yùn)敏感的基板。

• 安全等級 3（證書）

• 作用范圍：800 - 820 mm

• ISO 3 級

• 7 軸

• 控制系統(tǒng) KUKA Sunrise Cabinet

高凈度環(huán)境下的 KUKA LBR iiwa

KMR iiwa CR(負(fù)載能力 7-14 kg 機(jī)器人，負(fù)載能力 170 kg 平臺(tái)，移動(dòng)協(xié)作機(jī)器人)

KMR iiwa 適于裝載工藝設(shè)備，且無需采取結(jié)構(gòu)措施。

• 自主導(dǎo)航

• 全向

• 內(nèi)置半標(biāo)

• 準(zhǔn)車隊(duì)管理系統(tǒng)

• 可自由擴(kuò)展的模塊化系統(tǒng)

• 證書 (PDF)

  
  

不受地點(diǎn)限制、高度靈活的 KMR iiwa 為滿足工業(yè) 4.0 的要求創(chuàng)造了理想條件。

KR AGILUS CR(負(fù)載能力 6-10 kg)

凈室規(guī)格的 KR AGILUS 極其迅速且精確，是適合多種應(yīng)用的“專家”，例如用于標(biāo)線或晶片測試。

• 作用范圍：706.7 - 1101 mm

• ISO 2 級

• 集成式拖鏈系統(tǒng)

• 專用的小型機(jī)器人控制器 KR C5 micro

• 證書 (PDF)

KR CYBERTECH CR(負(fù)載能力 20 kg) KR 20 R1810 CR

KR CYBERTECH 的鎮(zhèn)定而精細(xì)的行駛特性注定其就是為搬運(yùn)半導(dǎo)體設(shè)備而生

• 作用范圍： 1810 mm

• ISO 等級： 5

• 修長的設(shè)計(jì)——節(jié)省空間的工作單元設(shè)計(jì)機(jī)器人

• 控制器 KR C5

• 證書 (PDF)